가스 파이프를 관리하는 초고 순도 요구 사항은 무엇입니까?
SEMI F72 표면 마감에 대한 표준 . outGassing<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). 수분 함량<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
가스 분포 용접은 어떻게 준비됩니까?
초고 순도 Argon . 임계 라인에 대한 이중 통을 사용한 궤도 용접 . 전기 전기 . 25μm ra . 질산으로의 수동 . 18.2 MΩ · CM 물과의 최종 헹굼.
가스 파이프 무결성을 검증하는 테스트는 무엇입니까?
헬륨 누출 테스트 1 × 10 ° ATM-CC/SEC . 오염에 대한 잔류 가스 분석 . 퍼지 가스의 입자 계수 . 레이저 분광학 . 실제 공정 가스를 이용한 최종 인증 ..
가스 캐비닛은 유통 시스템에 어떻게 연결되어 있습니까?
누출 조인트에 대한 VCR 페이스 슬리트 피팅 . 퍼지 퍼지 2 차 격리 . 위험 가스에 대한 이중 벽 튜브 . 정적 제어를위한 접지 . 안전에 대한 유동선 .}}.
가스 시스템 오염을 방지하는 유지 보수는 무엇입니까?
가스 변화 중 . 입자 모니터링의 연간 누출 테스트 . 일반 퍼지 가스 품질 검증 . 밸브 포장 유지 관리 . 엄격한 변경 제어 절차 .
